DRK8090 ფოტოელექტრული პროფილერი

ეს ინსტრუმენტი იყენებს უკონტაქტო, ოპტიკური ფაზის გადანაცვლების ინტერფერომეტრული გაზომვის მეთოდს, არ აზიანებს სამუშაო ნაწილის ზედაპირს გაზომვის დროს, შეუძლია სწრაფად გაზომოს სხვადასხვა სამუშაო ნაწილის ზედაპირის მიკროტოპოგრაფიის სამგანზომილებიანი გრაფიკა და გაზომოს გაზომვის ანალიზი და გამოთვლა. შედეგები.

პროდუქტის აღწერა
მახასიათებლები: ვარგისია სხვადასხვა ლიანდაგის ბლოკების და ოპტიკური ნაწილების ზედაპირის უხეშობის გასაზომად; სახაზავი და ციფერბლატის ბადის სიღრმე; გახეხილი ღარის სტრუქტურის საფარის სისქე და საფარის საზღვრის სტრუქტურის მორფოლოგია; მაგნიტური (ოპტიკური) დისკის ზედაპირი და მაგნიტური თავი სტრუქტურის გაზომვა; სილიკონის ვაფლის ზედაპირის უხეშობა და ნიმუშის სტრუქტურის გაზომვა და ა.შ.
ინსტრუმენტის მაღალი გაზომვის სიზუსტის გამო, მას აქვს არაკონტაქტური და სამგანზომილებიანი გაზომვის მახასიათებლები და იღებს კომპიუტერულ კონტროლს და გაზომვის შედეგების სწრაფ ანალიზს და გამოთვლას. ეს ინსტრუმენტი განკუთვნილია ყველა დონის ტესტირებისა და გაზომვის კვლევითი ერთეულებისთვის, სამრეწველო და სამთო საწარმოების საზომი ოთახებისთვის, ზუსტი დამუშავების სემინარებისთვის, ასევე შესაფერისია უმაღლესი სასწავლო და სამეცნიერო კვლევითი დაწესებულებებისთვის და ა.შ.
ძირითადი ტექნიკური პარამეტრები
ზედაპირის მიკროსკოპული უთანასწორობის სიღრმის დიაპაზონის გაზომვა
უწყვეტ ზედაპირზე, როდესაც არ არის სიმაღლის მკვეთრი ცვლილება 1/4-ზე მეტი ტალღის სიგრძის ორ მიმდებარე პიქსელს შორის: 1000-1 ნმ
როდესაც ორ მიმდებარე პიქსელს შორის ტალღის სიგრძის 1/4-ზე მეტია სიმაღლის მუტაცია: 130-1ნმ
გაზომვის განმეორებადობა: δRa ≤0.5nm
ობიექტური ლინზის გადიდება: 40X
რიცხვითი დიაფრაგმა: Φ 65
სამუშაო მანძილი: 0.5 მმ
ინსტრუმენტის ხედვის ველი ვიზუალური: Φ0.25მმ
ფოტო: 0,13×0,13 მმ
ინსტრუმენტის გადიდება ვიზუალური: 500×
ფოტოსურათი (კომპიუტერის ეკრანით დაკვირვება)-2500×
მიმღების საზომი მასივი: 1000X1000
პიქსელის ზომა: 5.2×5.2µm
გაზომვის დროის შერჩევის (სკანირების) დრო: 1S
ინსტრუმენტის სტანდარტული სარკის არეკვლა (მაღალი): ～50%
არეკვლა (დაბალი): ~4%
განათების წყარო: ინკანდესენტური ნათურა 6V 5W
მწვანე ჩარევის ფილტრის ტალღის სიგრძე: λ≒530ნმ
ნახევარი სიგანე λ≒10ნმ
ძირითადი მიკროსკოპის ამწე: 110 მმ
მაგიდის ამწე: 5 მმ
მოძრაობის დიაპაზონი X და Y მიმართულებით: ～10 მმ
სამუშაო მაგიდის ბრუნვის დიაპაზონი: 360°
სამუშაო მაგიდის დახრის დიაპაზონი: ±6°
კომპიუტერული სისტემა: P4, 2.8G ან მეტი, 17 დიუმიანი ბრტყელი ეკრანი 1G ან მეტი მეხსიერებით